PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。

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更新時間：2025-12-11

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低溫制冷機

直冷機直冷型低溫制冷機深冷機風冷型冷水機冷熱一體機冷媒冷卻設備生物醫(yī)療溫控設備生物樣品低溫設備生物樣品溫控系統(tǒng) 生物樣品低溫系統(tǒng) 生物低溫制冷設備

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產品介紹

PTHC系列低溫液冷機應用于晶圓測試的高低溫冷熱臺（晶圓測試載物臺）chuck的加熱制冷控溫，載冷劑采用硅油或氟化液循環(huán)精確控溫，液冷制冷機主要由加熱循環(huán)系統(tǒng)、冷卻系統(tǒng)、控制系統(tǒng)、箱體等組成。控制系統(tǒng)采用PID控制技術，高清觸摸屏顯示，設有多項保護功能，確保設備安全運行。通過機組自身的加熱與冷卻，向外界輸送載熱流體，滿足工藝條件。

設備控溫范圍：-80℃~200℃

Chuck盤面控制溫度：-60℃

溫度穩(wěn)定性：±0.1℃

制冷系統(tǒng)：采用雙極壓縮制冷系統(tǒng)

定制：可按要求定制-60℃液冷制冷機

參數(shù)看清楚

型號

設備名稱
制冷方式
操作面板
載冷劑
全密閉系統(tǒng)
介質溫度范圍
溫度精度
溫度穩(wěn)定性
溫度反饋
控溫對象
顯示分辨率
通信協(xié)議
外部輸入
存儲功能
冷凝方式
安全防護

液冷制冷機

PTHC系列低溫液冷機
雙級復疊制冷
7英寸彩色觸摸屏，中文顯示，操作簡便、顯示直觀，可顯示、記錄溫度曲線和測試數(shù)據(jù)
氟化液或硅油
管道材質：SUS304，采用全密閉式結構設計
-80℃ ~ 200℃
出口溫度±0.5 ℃
± 0.1 ℃
設備導熱介質溫度反饋PT100 (回口溫度、出口溫度) ，控晶圓測試chuck盤溫度
設備導熱介質出口溫度 (可選擇控制物料溫度)
0.01K
MODBUS RTU協(xié)議、RS 485接口+以太網(wǎng)接口
外置測溫傳感器端口、USB數(shù)據(jù)接口
試驗執(zhí)行時，可實時顯示圖形曲線，顯示內容；溫度設定實際值，執(zhí) 行程序周期，程序執(zhí)行中具有跳文件，保持功能。
風冷
設備運行狀態(tài)實時顯示，故障信息自動診斷，多項報警保護：電源故障，壓縮機過載、循環(huán)泵熱過載、制冷低壓報警、制冷高壓報警、超溫、溫度模塊故障、電加熱防干燒設計等保護功能。